Struktur und Wachstum dünner Schichten. In situ Bestimmung d. mechan. Spannung als neue Methode zur kontinuierlichen Untersuchung von Aufdampfschichten.
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Innsbruck
1980
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| Beschreibung: | ABERMANN, Reinhard: -- Struktur und Wachstum dünner Schichten. In -- situ Bestimmung d.mechan.Spannung als -- neue Methode zur kontinuierlichen Unter- -- suchung von Aufdampfschichten. - Inns- -- bruck 1980. Getr.Pag. 4° [Maschinenschr. -- hektogr.] -- Innsbruck,nat.wiss.Habil.Schr.1980. -- 1981:1318. -- Ts. |
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| Beschreibung: | Getr.Pag. 4° |