Untersuchungen zum Einfluß verschiedener Gase < H2,N2,CH4,CO2,CO,H2O und O2 > und der Substrattemperatur auf die mechanischen Spannungen und die Struktur von dünnen Chrom-Aufdampfschichten.
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| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Innsbruck
1982
|
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