Herstellung und Charakterisierung ionenimplantierter Silizium-Mesfets von Frank Zimmermann

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Main Author: Zimmermann, Frank
Format: Book
Language:German
Published: Dortmund Univ., Abt. Elektrotechnik 1983
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Description
Item Description:ZIMMERMANN, Frank: -- Zimmermann, Frank: Herstellung und -- Charakterisierung ionenimplantierter -- Silizium-Mesfets / von Frank Zimmermann. -- -- 1982. -- 86 S. : graph. Darst. -- Dortmund, Univ., Abt. Elektrotechnik, Diss., -- 1983 -- 1 wb 0783 -- 621.382:658.5( 043 ) -- -- 897849 -- 19.07.1983
Physical Description:86 S. graph. Darst.