Die Chemische Gasphasenabscheidung von Siliziumkarbid und Siliziumnitrid zur Verbesserung der Eigenschaften poröser keramischer Werkstoffe.

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Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Bühler, Hans-Joachim
Formaat: Boek
Taal:Duits
Gepubliceerd in: Karlsruhe Univ., Fak.f.Chemie 1976
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