Die Chemische Gasphasenabscheidung von Siliziumkarbid und Siliziumnitrid zur Verbesserung der Eigenschaften poröser keramischer Werkstoffe.
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|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe
Univ., Fak.f.Chemie
1976
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