Herstellung von W-C- und W-N-Schichten mittels Hochleistungskathodenzerstäuben und Bestimmung der Schichteigenschaften.
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| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | 図書 |
| 言語: | ドイツ語 |
| 出版事項: |
Innsbruck
1986
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