Herstellung von W-C- und W-N-Schichten mittels Hochleistungskathodenzerstäuben und Bestimmung der Schichteigenschaften.

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Fuchs, Kurt
Format: Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: Innsbruck 1986
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Beschreibung
Beschreibung:Dg 17.727 -- FUCHS, Kurt: -- Herstellung von W-C- und W-N-Schichten mittels -- Hochleistungskathodenzerstäuben und Bestim- -- mung der Schichteigenschaften.(Mit Zsfassung.) -- Innsbruck 1986. 110 gez.Bl.m.80 Abb.u.27 -- Tab. 4° [Maschinenschr.hektogr.] -- Innsbruck,naturwiss.Dipl.Arb. -- 1986!/gb. -- E.K.
Beschreibung:110 gez.Bl.m.80 Abb.u.27 Tab. 4°