Messung der mechanischen Spannungen von dünnen, unter UHV-Bedingungen aufgedampften Al-Metallisierungsschichten
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Knjiga |
| Jezik: | nemščina |
| Izdano: |
Innsbruck
1986
|
| Oznake: |
Brez oznak, prvi označite!
|
| Order eBook: |
|
| Order Book: | Login to order |
Podobne knjige/članki: Messung der mechanischen Spannungen von dünnen, unter UHV-Bedingungen aufgedampften Al-Metallisierungsschichten
- Untersuchung der Adsorption von Sauerstoff an dünnen, unter UHV-Bedingungen aufgedampften Chromschichten, durch Messung mechanischer Spannungen.
- Ellipsometrische Messung des Oxidationsverhaltens von im UHV (p<10^-7 Pa) aufgedampften Berylliumschichten.
- Messung der mechanischen Spannungen in dünnen MgF2-Aufdampfschichten und Maßnahmen zu ihrer Verminderung.
- Untersuchung des Einflusses von Substrattemperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid auf die inneren Spannungen in dünnen Chromschichten, sowohl während als auch nach deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen.
- Mechanische Spannungen in dünnen Schichten in Abhängigkeit von Strukturparametern.
- Spektroskopie weicher Röntgenstrahlen im Multiplex-Verfahren unter UHV-Bedingungen.