Untersuchung des Einflusses von Substrattemperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid auf die inneren Spannungen in dünnen Chromschichten, sowohl während als auch nach deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen.
Spremljeno u:
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Format: | Knjiga |
| Jezik: | njemački |
| Izdano: |
Innsbruck
1987
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MARC
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