Untersuchung des Einflusses von Substrattemperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid auf die inneren Spannungen in dünnen Chromschichten, sowohl während als auch nach deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen.
I tiakina i:
| Kaituhi matua: | |
|---|---|
| Hōputu: | Pukapuka |
| Reo: | Tiamana |
| I whakaputaina: |
Innsbruck
1987
|
| Ngā Tūtohu: |
Kāore He Tūtohu, Me noho koe te mea tuatahi ki te tūtohu i tēnei pūkete!
|
| Order eBook: |
|
| Order Book: | Login to order |
Ngā tūemi rite: Untersuchung des Einflusses von Substrattemperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid auf die inneren Spannungen in dünnen Chromschichten, sowohl während als auch nach deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen.
- Untersuchung der Adsorption von Sauerstoff an dünnen, unter UHV-Bedingungen aufgedampften Chromschichten, durch Messung mechanischer Spannungen.
- Messung der mechanischen Spannungen von dünnen, unter UHV-Bedingungen aufgedampften Al-Metallisierungsschichten
- Mechanische Spannungen in dünnen Schichten in Abhängigkeit von Strukturparametern.
- Mechanische Spannungen und Spannungsrelaxation in dünnen polykristallinen Nickel-Schichten.
- Spektroskopie weicher Röntgenstrahlen im Multiplex-Verfahren unter UHV-Bedingungen.
- Über innere mechanische Spannungen in dünnen Aufdampfschichten aus Chrom und Legierungen mit Chrom.