Untersuchung des Einflusses von Substrattemperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid auf die inneren Spannungen in dünnen Chromschichten, sowohl während als auch nach deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen.
Gardado en:
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Idioma: | alemán |
| Publicado: |
Innsbruck
1987
|
| Acceso en liña: | matching Alma AC05383843 (author 100.0%, title 100.0%, shelfmark 0.0%, overall 80.0%) |
| Tags: |
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
| Order eBook: |
|
| Order Book: | Login to order |
Títulos similares: Untersuchung des Einflusses von Substrattemperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid auf die inneren Spannungen in dünnen Chromschichten, sowohl während als auch nach deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen.
- Untersuchung der Adsorption von Sauerstoff an dünnen, unter UHV-Bedingungen aufgedampften Chromschichten, durch Messung mechanischer Spannungen.
- Messung der mechanischen Spannungen von dünnen, unter UHV-Bedingungen aufgedampften Al-Metallisierungsschichten
- Mechanische Spannungen in dünnen Schichten in Abhängigkeit von Strukturparametern.
- Mechanische Spannungen und Spannungsrelaxation in dünnen polykristallinen Nickel-Schichten.
- Spektroskopie weicher Röntgenstrahlen im Multiplex-Verfahren unter UHV-Bedingungen.
- Über innere mechanische Spannungen in dünnen Aufdampfschichten aus Chrom und Legierungen mit Chrom.