Untersuchung des Einflusses von Substrattemperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid auf die inneren Spannungen in dünnen Chromschichten, sowohl während als auch nach deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen.
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|---|---|
| Format: | Livre |
| Langue: | allemand |
| Publié: |
Innsbruck
1987
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