Untersuchung des Einflusses von Substrattemperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid auf die inneren Spannungen in dünnen Chromschichten, sowohl während als auch nach deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen.
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| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Innsbruck
1987
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| Item Description: | D 211.351 -- THURNER, Georg: -- Untersuchung des Einflusses von Substrat- -- temperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid -- auf die inneren Spannungen in dünnen Chrom- -- schichten, sowohl während als auch nach -- deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen. -- (Mit Zsfassung.) - Innsbruck 1987. 78 gez. -- Bl.m.32 Abb. 8° [Maschinenschr.hektogr.] -- Innsbruck, naturwiss.Diss.1987. -- 1988! -- O.G. |
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| Physical Description: | 78 gez. Bl. m. 32 Abb. 8° |