Untersuchung des Einflusses von Substrattemperatur, Sauerstoff und Kohlenmonoxid auf die inneren Spannungen in dünnen Chromschichten, sowohl während als auch nach deren Aufdampfung unter UHV-Bedingungen.

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Detalles Bibliográficos
Autor Principal: Thurner, Georg
Formato: Libro
Idioma:alemán
Publicado: Innsbruck 1987
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