Untersuchung der elektronenoptischen Eigenschaften von Ablenksystemen für die Anwendung elektronenlithographischer Bildaufzeichnungen.

Furkejuvvon:
Bibliográfalaš dieđut
Váldodahkki: Kilger, Gerhard
Materiálatiipa: Girji
Giella:duiskkagiella
Almmustuhtton: 1980
Fáddágilkorat: Lasit fáddágilkoriid
Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!
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Govvádus
Fuomášahttimat:Kilger, Gerhard -- Untersuchung der elektronenoptischen Eigenschaften -- von Ablenksystemen für die Anwendung elektronen- -- lithographischer Bildaufzeichnungen. -- 1980. 87 S. 8° -- Tübingen, Univ., Fak. f. Physik, Diss. 1980
Olgguldas hápmi:87 S. 8°