Charakterisierung von vorwiegend durch Ionenimplantation hergestellten, dünnen Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxynitrid-Schichten auf Silizium mit Augerelektronenspektroskopie und Elektronenergieverlustspektroskopie.
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| Kieli: | saksa |
| Julkaistu: |
1985
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| Tagit: |
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MARC
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