Charakterisierung von vorwiegend durch Ionenimplantation hergestellten, dünnen Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxynitrid-Schichten auf Silizium mit Augerelektronenspektroskopie und Elektronenergieverlustspektroskopie.
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| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | 圖書 |
| 語言: | 德语 |
| 出版: |
1985
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MARC
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