Charakterisierung von vorwiegend durch Ionenimplantation hergestellten, dünnen Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxynitrid-Schichten auf Silizium mit Augerelektronenspektroskopie und Elektronenergieverlustspektroskopie.
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
1985
|
| Tags: |
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Order eBook: |
|
| Order Book: | Login to order |
Be the first to leave a comment!