Charakterisierung von vorwiegend durch Ionenimplantation hergestellten, dünnen Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxynitrid-Schichten auf Silizium mit Augerelektronenspektroskopie und Elektronenergieverlustspektroskopie.
-д хадгалсан:
| Үндсэн зохиолч: | |
|---|---|
| Формат: | Ном |
| Хэл сонгох: | герман |
| Хэвлэсэн: |
1985
|
| Шошгууд: |
Шошго байхгүй, Энэхүү баримтыг шошголох эхний хүн болох!
|
| Order eBook: |
|
| Order Book: | Login to order |
Хамгийн түрүүнд сэтгэгдэл үлдээх!