Charakterisierung von vorwiegend durch Ionenimplantation hergestellten, dünnen Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxynitrid-Schichten auf Silizium mit Augerelektronenspektroskopie und Elektronenergieverlustspektroskopie.
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|---|---|
| Формат: | |
| Язык: | немецкий |
| Опубликовано: |
1985
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| Примечание: | D 10. -- S t r e b, Wolfgang Gerhard: Charakterisierung -- von vorwiegend durch Ionenimplantation herge- -- stellten, dünnen Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- -- und Siliziumoxynitrid-Schichten auf Silizium -- mit Augerelektronenspektroskopie und Elektronen -- energieverlustspektroskopie. -- 1985. 119 S. 8° -- Erlangen,Nürnberg,Univ.,Techn.Fak.,Diss. |
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| Объем: | 119 S. 8° |