Charakterisierung von vorwiegend durch Ionenimplantation hergestellten, dünnen Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxynitrid-Schichten auf Silizium mit Augerelektronenspektroskopie und Elektronenergieverlustspektroskopie.
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Format: | Llibre |
| Idioma: | alemany |
| Publicat: |
1985
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