Charakterisierung von vorwiegend durch Ionenimplantation hergestellten, dünnen Siliziumoxid-, Siliziumnitrid- und Siliziumoxynitrid-Schichten auf Silizium mit Augerelektronenspektroskopie und Elektronenergieverlustspektroskopie.

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Autor principal: Streb, Wolfgang Gerhard
Format: Llibre
Idioma:alemany
Publicat: 1985
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